• Nhà phân phối Ozone 9 inch 0,2 um


  • Van góc tỷ lệ 514


  • Đồng hồ đo áp suất YTN60


  • Đồng hồ đo áp suất


  • nhiệt kế


  • lưu lượng kế


  • Bơm định lượng (có bốn van chức năng)


  • Đĩa phun Ozone Titan dày


  • Bộ lọc (Bao gồm phần tử bộ lọc)


  • Lưu lượng kế phao


  • Máy đo độ dẫn điện CLD133-MV5PK0


  • Độ dẫn nhiệt


  • Nhà phân phối Ozone 9 inch 0,2 um


  • Van góc tỷ lệ 514


  • Bộ trao đổi nhiệt dạng tấm


  • Phần tử lọc thổi nóng chảy PP


  • Đầu dò PH


  • Bộ tiền khuếch đại máy đo PH